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J-GLOBAL ID：200903083058861683

有機材の回転塗布方法とその装置

Inventor： 近藤 直人
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社
Agent (1)： 井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991327928
Publication number (International publication number)：1993166710
Application date： Dec. 12, 1991
Publication date： Jul. 02, 1993
Summary：

【要約】【目的】 基板表面に有機材皮膜を形成する際の該有機材の回転塗布方法とその装置に関し、如何なる大きさの基板でもその表面に均一厚さの有機材皮膜を形成することで生産性の向上を図ることを目的とする。【構成】 垂直軸で回転する基板上に溶剤で液状化された有機材を滴下して該基板上に所要厚さの有機膜を形成する有機材の回転塗布方法であって、塗布チャンバ11内の回転し得る載置台2に載置固定された基板1上に所要量の前記液状化した有機材を滴下した後、該基板1と平行する近接位置に軸を合わせて固定された所定径の円板14の上方に該円板方向を向くように該円板14と同軸に設けた送風口12から冷却されたエアまたは霧状の前記溶剤を含むエアを回転する上記基板面に吹き付けて構成する。

Claim (excerpt)：

垂直軸で回転する基板上に溶剤で液状化された有機材を滴下して該基板上に所要厚さの有機膜を形成する有機材の回転塗布方法であって、塗布チャンバ(11)内の回転し得る載置台(2) に載置固定された基板(1) 上に所要量の前記液状化した有機材を滴下した後、該基板(1) と平行する近接位置に軸を合わせて固定された所定径の円板(14)の上方に該円板方向を向くように該円板(14)と同軸に設けた送風口(12)から冷却されたエアまたは霧状の前記溶剤を含むエアを回転する上記基板(1) 面に吹き付けることを特徴とした有機材の回転塗布方法。

IPC (4)：

H01L 21/027 ,  B05C 11/08 ,  B05D 1/40 ,  G03F 7/16 502