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J-GLOBAL ID：200903083061945766

レーザー加工装置

Inventor： 宇田 和孝 ,  山内 康弘 ,  村田 正義
Applicant, Patent owner： 三菱重工業株式会社
Agent (1)： 奥山 尚一 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000037779
Publication number (International publication number)：2001225182
Application date： Feb. 16, 2000
Publication date： Aug. 21, 2001
Summary：

【要約】【課題】 レーザビームを良好に整形して、金属電極のレーザエッチング加工が切れ味良く実施できるレーザ加工装置を提供する。【解決手段】 パルスレーザと、光強度空間分布を整形するレンズ系と、被加工材を載置するX-Yステージと、該ステージとパルスレーザとを同期制御する制御装置とを備えたレーザ加工装置において、前記パルスレーザを複数台設置し、かつ、該複数台のパルスレーザから発射のパルスレーザビームの発射タイミングを同期させる同期装置を設置するとともに、発射されるレーザビームを拡散光源に変換する拡散板と、該拡散板に照射して得られるレーザ拡散光源の像を被加工材表面に結像させる集光円柱レンズ系および結像円柱レンズ系と、該レンズ系の間に介装されてレーザビームを整形するスリットと、を設けたことを特徴とするレーザ加工装置。

Claim (excerpt)：

所定出力のレーザビームを発射するパルスレーザと、該レーザビームの光強度空間分布を整形するレンズ系と、整形後のレーザビームが照射される被加工材を載置するX-Yステージと、該X-Yステージと前記パルスレーザとを同期制御する制御装置とを備えたレーザ加工装置において、前記パルスレーザを複数台設置し、かつ、該複数台のパルスレーザから発射のパルスレーザビームの発射タイミングを同期させる同期装置を設置するとともに、前記パルスレーザからX-Yステージまでのレーザ伝播経路に、発射されるレーザビームを拡散光源に変換する拡散板と、該拡散板に照射して得られるレーザ拡散光源の像を被加工材表面に結像させる集光円柱レンズ系および結像円柱レンズ系と、該レンズ系の間に介装されてレーザビームを整形するスリットと、を設けたことを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (3)：

B23K 26/06 ,  B23K 26/00 ,  H01S 3/00

FI (3)：

B23K 26/06 E ,  B23K 26/00 N ,  H01S 3/00 B

F-Term (19)：

4E068CD02 ,  4E068CD05 ,  4E068CD10 ,  4E068CD13 ,  4E068DA09 ,  5F072AA06 ,  5F072AB02 ,  5F072JJ20 ,  5F072KK12 ,  5F072KK30 ,  5F072MM08 ,  5F072MM09 ,  5F072MM17 ,  5F072QQ02 ,  5F072RR01 ,  5F072RR03 ,  5F072RR05 ,  5F072SS06 ,  5F072YY06