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J-GLOBAL ID:200903083071636311
基板収納容器の識別構造及び基板収納容器の識別方法
Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1):
藤本 英介 (外2名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999124895
Publication number (International publication number):2000315721
Application date: Apr. 30, 1999
Publication date: Nov. 14, 2000
Summary:
【要約】 (修正有)【課題】 金型等の投資金額の抑制や製品管理の簡素化を図ることができ、基板収納容器に関する情報を容易に把握できるとともに、簡単に取り付けることのできる基板収納容器の識別構造及び基板収納容器の識別方法を提供する。【解決手段】 ウェーハを整列収納する容器本体2の底面に螺着されるボトムプレート15と、ボトムプレート15の識別領域に穿孔成形される貫通孔18Cと、複数の貫通孔18Cに選択的に嵌入される識別体19とを備える。識別体19を有底円筒体20とし、有底円筒体20の一端部と開口他端部の全外周とから貫通孔18Cの周縁部に係止するつば部21・23をそれぞれ外方向に張り出すとともに、開口他端部のつば部23に一端部方向から開口他端部方向に向かうにしたがい徐々に狭まる傾斜挿入面24を成形し、ボトムプレート15の上下いずれからも有底円筒体20を嵌入可能とする。そして、有底円筒体20の嵌入態様に基づき、基板収納容器に関する情報を識別知得する。
Claim (excerpt):
基板を収納する容器本体の開口面を蓋体でシールして閉鎖する基板収納容器であって、該容器本体の底面に設けられるボトムプレートと、このボトムプレートの識別領域に設けられる貫通孔と、この貫通孔に着脱自在に取り付けられる識別体とを含み、この識別体の取り付け態様に基づいて上記基板収納容器に関する情報を識別知得するようにしたことを特徴とする基板収納容器の識別構造。
F-Term (15):
5F031CA02
, 5F031CA05
, 5F031CA07
, 5F031DA08
, 5F031DA20
, 5F031EA02
, 5F031EA09
, 5F031EA10
, 5F031EA12
, 5F031EA14
, 5F031EA16
, 5F031EA20
, 5F031JA49
, 5F031PA18
, 5F031PA26
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (4)
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半導体加工装置のためのローディング及びアンローディング用ステーション
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平8-068465
Applicant:イェノプティックアクチェンゲゼルシャフト
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特開昭60-211957
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基板処理装置
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平9-364962
Applicant:東京エレクトロン株式会社
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基板収納容器
Gazette classification:公開公報
Application number:特願平10-160543
Applicant:信越ポリマー株式会社
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