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J-GLOBAL ID：200903083079046190

シリコンウェハー搬送装置

Inventor： 福島 弘史 ,  岡本 弘
Applicant, Patent owner： 株式会社メックス
Agent (1)： 飯田 堅太郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995056097
Publication number (International publication number)：1996255821
Application date： Mar. 15, 1995
Publication date： Oct. 01, 1996
Summary：

【要約】【目的】 シリコンウェハーに塵埃の付着を少なくし、クリーンルーム内の省スペースかを図れるようなシリコンウェハー搬送装置を提供すること。【構成】 オリフラ位置合わせ装置を搬送装置1内に組み込む様にするものであり、機台2に回転及び上下動可能な副軸3と、副軸3の内面に枢着される主軸4と、主軸4の回転で回動される第1アーム7、第2アーム32、ハンドアーム33を有していて、前記各々の駆動によりウェハーを直線的に移動する様に構成された搬送装置であって、主軸4の内部にウェハー29を保持する保持軸6が遊嵌されている。保持軸6は機台2の下方に配設された駆動装置5によって、X方向、Y方向、Z方向、及び軸に対する回転方向に駆動される。また第1アーム7の上面にはオリフラ位置検出装置30が取り付けられていて、カセット装置31から直線的に移動されたウェハー29が保持軸6じょうに吸着されると、オリフラ位置検出装置によりオリフラ位置が検出される。更にウェハーが位置を修正されると、再びウェハーはカセット装置に移動され収納される。

Claim (excerpt)：

機台の中央部に配設され機台に対して回転及び上下動可能な副軸の内面に、主軸が回転可能に支持され、前記主軸によって回動される第1アームと、前記主軸によって回動され前記第1アームの一端に回転可能に支持される第2アームと、前記第2アームの回動により回動されて前記第2アームの一端に回転可能に支持されたハンドアームを有することによって、前記シリコンウェハーを所定の位置から直線的に移動することができるシリコンウェハー搬送装置であって、前記第1アームが中空部を有する円盤状に形成されていることを特徴とするシリコンウェハー搬送装置。

IPC (3)：

H01L 21/68 ,  B25J 9/06 ,  B65G 49/07

FI (4)：

H01L 21/68 A ,  H01L 21/68 M ,  B25J 9/06 D ,  B65G 49/07 D