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J-GLOBAL ID：200903083086074603

集積回路の故障解析方法

Inventor： 中村 豊一 ,  二川 清 ,  辻出 徹
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 内原 晋
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991207701
Publication number (International publication number)：1993045423
Application date： Aug. 20, 1991
Publication date： Feb. 23, 1993
Summary：

【要約】【目的】 電子ビームテスタを用いる集積回路の故障解析の際集積回路の電位コントラスト像を高速にしかも劣化させずに得ること。【構成】 LSIテスタを用いて、集積回路を駆動しながら、その駆動のタイミングに同期して電位コントラスト像10を電子ビームテスタを用いて得る。この場合に電位コントラストを得るテストパターンの印加状態を一時保持しながら電位コントラストを得る。

Claim (excerpt)：

電子ビームテスタを用いた集積回路の故障解析手法において、あるテストパターンを入力した状態を一時的に保持し、他のテストパターン入力時間よりも長くした状態で電位コントラストを取得することを特徴とする故障解析方法。