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J-GLOBAL ID：200903083090387144
リンドープダイヤモンドの合成法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996252376
Publication number (International publication number)：1998081587
Application date： Sep. 03, 1996
Publication date： Mar. 31, 1998
Summary：
【要約】【課題】 n型特性を示すリンドープダイヤモンド膜を提供する。【解決手段】 炭化水素と水素を反応ガスとするマイクロ波プラズマ法によるリンドープダイヤモンドの合成において、リンをドーパントとし、リンに結合する水素を解離して、ダイヤモンド中に水素と結合することなくリンを不純物として導入する。
Claim (excerpt)：
炭化水素とこれに混合する水素を反応ガスとするマイクロ波プラズマ法によるリンドープダイヤモンドの合成において、リンをドーパントとし、リンに結合する水素を解離させてダイヤモンド中に水素と結合することなくリンを不純物として導入することを特徴とするリンドープダイヤモンドの合成法。
Patent cited by the Patent：
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