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J-GLOBAL ID：200903083115894208

MEMSデバイスの機能的要素としてのカーボンナノチューブを製造するための方法

Inventor： マンチェブスキ, ブラディミール
Applicant, Patent owner： ザイデックス コーポレイション
Agent (1)： 山本 秀策
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2000572903
Publication number (International publication number)：2002526354
Application date： Sep. 28, 1999
Publication date： Aug. 20, 2002
Summary：

【要約】MEMSデバイスの機能的要素としてのカーボンナノチューブを製造するためのシステムおよび方法。本発明の方法は、カーボンナノチューブの合成のためにMEMS基板を調製する工程を包含する。ナノサイズ穴または触媒保持構造が、ナノチューブ触媒が析出されるMEMS基板上に作製される。ナノチューブは次いで、ナノサイズ穴内にて合成される。

Claim (excerpt)：

MEMSデバイスの機能的要素として、少なくとも1つのカーボンナノチューブを製造するための方法であって、該方法は以下の工程: 少なくとも1つのカーボンナノチューブの成長のためにMEMS基板を調製する工程; ナノサイズの触媒保持構造を該MEMS基板上の所定の配置において第一層内で作製する工程であって、ここで該配置が、該MEMS基板上での該少なくとも1つのカーボンナノチューブの位置を決定する、工程; ナノチューブ触媒を該ナノサイズ触媒保持構造内に配置する工程;および 該少なくとも1つのカーボンナノチューブを該触媒保持構造内に合成する工程、を包含する方法。

IPC (6)：

C01B 31/02 101 ,  B81C 5/00 ,  C23C 14/06 ,  C23C 16/26 ,  G01N 13/16 ,  G12B 21/08

FI (6)：

C01B 31/02 101 F ,  B81C 5/00 ,  C23C 14/06 F ,  C23C 16/26 ,  G01N 13/16 C ,  G12B 1/00 601 D

F-Term (11)：

4G046CA02 ,  4G046CC02 ,  4G046CC06 ,  4G046CC08 ,  4K029AA24 ,  4K029BA34 ,  4K029BD00 ,  4K029CA05 ,  4K030BA27 ,  4K030CA12 ,  4K030LA11