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J-GLOBAL ID：200903083127206935

ポジ型感光性樹脂前駆体組成物

Inventor： 藤田 陽二 ,  富川 真佐夫
Applicant, Patent owner： 東レ株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001263189
Publication number (International publication number)：2003076007
Application date： Aug. 31, 2001
Publication date： Mar. 14, 2003
Summary：

【要約】【課題】アルカリ現像可能なポジ型の感光性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)フェノール性水酸基を有する化合物と、(c)エステル化したキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。【化1】(式中R1は2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基、R2は2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基であり、R1および/またはR2は脂肪族環状置換基を有する。R3は水素、または炭素数1から20までの有機基を示す。nは10から100000までの整数、mは0から2までの整数、p、qは0から4までの整数を示す。ただしp+q>0である。)

Claim (excerpt)：

(a)一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリマーと、(b)フェノール性水酸基を有する化合物と、(C)エステル化したキノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物。【化1】(式中R1は2個以上の炭素原子を有する2価から8価の有機基、R2は2個以上の炭素原子を有する2価から6価の有機基であり、R1および/またはR2は脂肪族環状置換基を有する。R3は水素、または炭素数1から20までの有機基を示す。nは10から100000までの整数、mは0から2までの整数、p、qは0から4までの整数を示す。ただしp+q>0である。)

IPC (5)：

G03F 7/023 ,  C08G 73/10 ,  G03F 7/037 501 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (5)：

G03F 7/023 ,  C08G 73/10 ,  G03F 7/037 501 ,  H01L 21/312 D ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (39)：

2H025AA01 ,  2H025AA06 ,  2H025AA09 ,  2H025AA10 ,  2H025AA20 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB25 ,  2H025CB45 ,  2H025FA17 ,  4J043PA02 ,  4J043PA04 ,  4J043PC065 ,  4J043QB15 ,  4J043QB26 ,  4J043QB31 ,  4J043RA34 ,  4J043SA05 ,  4J043TA14 ,  4J043TA22 ,  4J043UA021 ,  4J043UA031 ,  4J043UA042 ,  4J043UA131 ,  4J043UA141 ,  4J043UA151 ,  4J043UA152 ,  4J043UB221 ,  4J043UB222 ,  4J043ZB22 ,  5F058AA10 ,  5F058AC02 ,  5F058AC07 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH02 ,  5F058AH03