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J-GLOBAL ID：200903083140349150
ポジ型感光性組成物
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
萩野 平 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994193355
Publication number (International publication number)：1996062847
Application date： Aug. 17, 1994
Publication date： Mar. 08, 1996
Summary：
【要約】【目的】 従来よりも基板との密着性が極めて高く、エッチング処理、特にオーバーエッチング処理でも加工精度を向上させ、より微細なパターンを忠実に基板に転写することが可能なポジ型感光性組成物を提供することを目的とする。【構成】 アルカリ可溶性フェノール樹脂、o-キノンジアジド化合物、シクロヘキシル環もしくはモルホリン環を有するウレア又はチオウレア、及び前記3成分を十分に溶解させる能力を有する溶剤を少なくとも含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。
Claim (excerpt)：
(a)アルカリ可溶性フェノール樹脂(b)o-キノンジアジド化合物(c)上記(a)、(b)及び下記(d)を十分に溶解させる能力を有する溶剤(d)下記一般式(I)で表される化合物を少なくとも含有することを特徴とするポジ型感光性組成物。【化1】式(I)中、Xはイオウ原子又は酸素原子を表し、R1 、R2 、R3 及びR4のうち少なくともひとつは、シクロヘキシル環、モルホリン環、又はシクロヘキシル環もしくはモルホリン環を有するアルキル基を表し、残るものは各々水素原子、アルキル基またはアリール基を表す。
IPC (3)：
G03F 7/085
, G03F 7/022
, H01L 21/027
