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J-GLOBAL ID:200903083148906619

密着シート

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2007000312
Publication number (International publication number):2008162240
Application date: Jan. 05, 2007
Publication date: Jul. 17, 2008
Summary:
【課題】被着体の表面が荒れていて従来の密着シートでは、固定できないものでも固定することのできる密着シートであり、ウエハはもとよりウエハ以外の物品を固定することのできる密着シートを提供する。 【解決手段】基材の少なくとも片面に密着層を設けた密着シートにおいて、密着層がアスカーFP硬度25以上でアスカーCSC2硬度で80以下とした密着シートである。前記密着層が、両末端にのみビニル基を有する直鎖状ポリオルガノシロキサンからなるシリコーンと、両末端及び側鎖にビニル基を有する直鎖状ポリオルガノシロキサンからなるシリコーンと、末端にのみビニル基を有する分岐上ポリオルガノシロキサンからなるシリコーンと、末端及び側鎖にビニル基を有する分岐上ポリオルガノシロキサンからなるシリコーンとから選ばれる少なくとも1種のシリコーンを架橋させてなる密着シートである。 【選択図】 図1
Claim (excerpt):
基材の少なくとも片面に密着層を設けた密着シートにおいて、密着層がアスカーFP硬度25以上でアスカーCSC2硬度で80以下であることを特徴とする密着シート。
IPC (6):
B32B 27/00 ,  H01L 21/304 ,  H01L 21/301 ,  C09J 7/02 ,  C09J 183/04 ,  C09J 183/07
FI (6):
B32B27/00 101 ,  H01L21/304 622J ,  H01L21/78 M ,  C09J7/02 Z ,  C09J183/04 ,  C09J183/07
F-Term (43):
4F100AK42 ,  4F100AK52B ,  4F100AR00B ,  4F100AT00A ,  4F100BA02 ,  4F100GB43 ,  4F100GB51 ,  4F100JA07B ,  4F100JB20B ,  4F100JK12B ,  4F100JL01 ,  4F100YY00B ,  4J004AA05 ,  4J004AA06 ,  4J004AA07 ,  4J004AA11 ,  4J004AA14 ,  4J004AB01 ,  4J004CA04 ,  4J004CA06 ,  4J004CB03 ,  4J004CC02 ,  4J004CD08 ,  4J004DA04 ,  4J004EA05 ,  4J004FA04 ,  4J004FA08 ,  4J040CA041 ,  4J040CA081 ,  4J040CA091 ,  4J040CA141 ,  4J040DA121 ,  4J040EF001 ,  4J040EK031 ,  4J040EK081 ,  4J040JB07 ,  4J040KA31 ,  4J040LA01 ,  4J040LA06 ,  4J040MA05 ,  4J040MA10 ,  4J040MB03 ,  4J040NA19
Patent cited by the Patent:
Cited by applicant (1)
  • 両面密着シート
    Gazette classification:公開公報   Application number:特願2002-183158   Applicant:フジコピアン株式会社
Cited by examiner (5)
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