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J-GLOBAL ID：200903083161154383

基板製造法

Inventor： 上松 強志 ,  筒井 謙 ,  蕨迫 光紀
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994177984
Publication number (International publication number)：1996039500
Application date： Jul. 29, 1994
Publication date： Feb. 13, 1996
Summary：

【要約】【構成】超音波発振器3,超音波モータ8,楔6,カッタ7,X線検出器12からなる。【効果】基板製造工程の時間短縮およびコスト低減が図れる。

Claim (excerpt)：

焦点を持つ超音波を用いて固体を分離することを特徴とする基板製造法。

IPC (4)：

B26F 3/00 ,  B28D 1/22 ,  H01L 21/304 301 ,  H01L 21/304 311