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J-GLOBAL ID：200903083165682945
蒸着フィルムの製造装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992244612
Publication number (International publication number)：1994093447
Application date： Sep. 14, 1992
Publication date： Apr. 05, 1994
Summary：
【要約】【目的】特に酸化物セラミックスを透明プラスチックフィルム上に高速巻き取り蒸着し、かつガスバリヤー性の高い蒸着フィルムを容易に製造できる装置を提供する。【構成】長尺の透明プラスチックフィルムを真空容器内で走行させ、コーティングドラム上で蒸発材料を連続的に真空蒸着し、次いでこの蒸着フィルムを蒸着する真空容器と区切られた真空容器内に搬入し、この容器内で蒸着フィルムに高周波酸素プラズマ処理を行なうことを特徴とする。高周波酸素プラズマ処理により、蒸着膜に再酸化反応を起こし、ピンホールのない、また高いガスバリヤー性を有する蒸着フィルムとなる。
Claim (excerpt)：
長尺の透明プラスチックフィルムを真空容器内で走行させ、コーティングドラム上で蒸発材料を連続的に真空蒸着し、次いでこの蒸着フィルムを蒸着する真空容器と区切られた真空容器内に搬入し、この容器内で蒸着フィルムに高周波酸素プラズマ処理を行なうことを特徴とする蒸着フィルムの製造装置。
IPC (2)：
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