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J-GLOBAL ID：200903083167739723

物品を洗浄するための方法

Inventor：
ビリンガム、ジョン、フレドリック

About ビリンガム、ジョン、フレドリック


Applicant, Patent owner：
プラクスエア・テクノロジー・インコーポレイテッド

About プラクスエア・テクノロジー・インコーポレイテッド


Agent (4)： 浅村 皓 ,  浅村 肇 ,  安藤 克則 ,  小池 誠
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2003557723
Publication number (International publication number)：2005515619
Application date： Jan. 07, 2003
Publication date： May. 26, 2005
Summary：
物品を洗浄する方法は、物品を、二酸化炭素を含む溶媒流体に接触させ、それによって、物品上の汚染物質を溶媒流体中に溶解させ、溶媒流体を二酸化炭素以外の置換用流体で置き換えることを含む。一態様では、置換用流体は、置き換えられる溶媒流体中に第2の相が生成するのを防止するのに十分な温度と圧力であり、二酸化炭素の少なくとも一部を物品へ再循環させる。他の態様では、置換用ガスによるその置き換えの前に溶媒流体の圧力を低下させる。
Claim (excerpt)：
a)ウェハを、二酸化炭素を含む溶媒流体と接触させ、それによって前記溶媒流体で前記ウェハ上の汚染物質を除去するステップと、 b)前記溶媒流体を、置き換えられる溶媒流体中に第2の相が生成するのを防止するのに十分な温度と圧力の、二酸化炭素以外の置換用流体で置き換え、それによって前記ウェハから前記汚染物質を分離し、前記ウェハを洗浄するステップと を含むウェハの汚染物質を洗浄する方法。
IPC (3)：
H01L21/304 ,  B08B7/00 ,  H01L21/027
FI (3)：
H01L21/304 647Z ,  B08B7/00 ,  H01L21/30 572B
F-Term (11)：
3B116AA03 ,  3B116AA46 ,  3B116AB01 ,  3B116BB02 ,  3B116BB90 ,  3B116CC03 ,  3B116CD22 ,  3B116CD31 ,  5F046MA02 ,  5F046MA05 ,  5F046MA06
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (2)

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