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J-GLOBAL ID：200903083170257080
低発塵性の装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
永井 冬紀
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992334738
Publication number (International publication number)：1994181157
Application date： Dec. 15, 1992
Publication date： Jun. 28, 1994
Summary：
【要約】【目的】クリーンルームで使用され、微細粒子の発生を抑制するとともに、クリーンワイパなどによる塵埃の拭き取り性を向上させた低発塵性の装置を提供する。【構成】 シリコンウエハ13を真空吸着して搬送する搬送アーム11の吸着部12を、シリコンウエハ13を摩耗せずしかもシリコンウエハ13で摩耗されない相互に耐摩耗性を有し、かつ高被拭浄性を有する一群の材質の中から選択された1の材料、たとえばポリアセタール系樹脂、ポリエーテルイミド系樹脂、ポリアミド系樹脂、ポリアミドイミド系樹脂およびポリブチレンテレフタレート系樹脂で形成する。
Claim (excerpt)：
クリーンルーム内でワークを処理する低発塵性の装置において、前記ワークが摺動接触する部位は、前記ワークとの間で相互に耐摩耗性を有し、かつ高被拭浄性を有する一群の材質の中から選択された1の材料で形成することを特徴とする低発塵性の装置。
IPC (3)：
H01L 21/027
, B65G 49/07
, H01L 21/68
