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J-GLOBAL ID：200903083184587392

電圧・変位検出プローブ及びこれを用いた電圧・変位測定装置

Inventor： 藤井 彰 ,  左藤 葉子 ,  浜 壮一 ,  尾崎 一幸 ,  後藤 善朗 ,  梅原 康敏 ,  小木曽 祥明
Applicant, Patent owner： 富士通株式会社 ,  株式会社アドバンテスト
Agent (1)： 松本 眞吉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993292036
Publication number (International publication number)：1995146316
Application date： Nov. 22, 1993
Publication date： Jun. 06, 1995
Summary：

【要約】【目的】試料上のボンディングワイヤ等と干渉することなく測定することができ、かつ、該装置の構成及び操作を簡単化する。【構成】電気光学結晶32aと、電気光学結晶32aの一対の対向面に被着された透明導電膜32b及び32cと、フレーム33aと、周部がフレーム33aに固定された透明弾性薄膜33bと、弾性薄膜33b上中央部に反射面である底面が接着された導電性探針34と、電気光学結晶32a及びフレーム33aを同心にした状態で保持するホルダ31と、接地用リード32dと、透明導電膜32cと弾性薄膜33bとを導通させる導電膜32e及び33cとを有し、入射光が電気光学結晶32aを通り反射面34aで反射されて逆行する光路の長さの変化に基づいて探針34の変位を検出し、かつ、該光路を通ることによる直線偏光成分間の位相差に基づいて探針接触点の電圧を検出する。

Claim (excerpt)：

対向する第1面及び第2面を有し、該第1面に光が入射され、該光に応答して、与えられた基準電位に対する該第1面の電圧情報を光又は電気信号の形で出力する電圧情報発生素子(32)と、該第2面と導通された導電性探針(34)と、該探針の底面が中央部に直接又は間接的に取り付けられた、導電性の、連続又は不連続の回転対称形である面状又は線状の弾性部材(33b)と、該弾性部材の外端が固着され、該電圧情報発生素子を該探針の上方に配置し、該第1面を該第2面の上方にして、該電圧情報発生素子と該探針とを同心に保持するホルダ(31)と、該探針の該ホルダに対する変位を検出する変位検出手段(32)と、を有することを特徴とする電圧・変位検出プローブ。

IPC (6)：

G01R 19/00 ,  G01B 11/00 ,  G01N 37/00 ,  G01R 1/067 ,  G01R 31/302 ,  H01L 21/66