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J-GLOBAL ID:200903083205409953

非球面形状の評価方法及び非球面形状の評価装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 韮澤 弘 (外7名)
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1998104447
Publication number (International publication number):1999295059
Application date: Apr. 15, 1998
Publication date: Oct. 29, 1999
Summary:
【要約】【課題】 簡易で信頼性の高い非球面形状の評価方法及びその評価方法を実施する評価装置を提供する。【解決手段】 実非球面の形状を測定するステップS1、設計基準非球面形状を相似変形することにより特定される非球面の形状と、前記測定された実非球面の形状との間の全体的な形状の差が最小になる最適相似変倍倍率M0 を求めるステップS2、最適相似変倍倍率M0 を用いて非球面を評価するステップS3からなる。
Claim (excerpt):
以下の(A1)〜(A3)のステップを含むことを特徴とする非球面形状の評価方法。(A1)実非球面の形状を測定するステップ、(A2)設計基準非球面形状を相似変形することにより特定される非球面の形状と、前記測定された実非球面の形状との間の全体的な形状の差が最小になる最適相似変倍倍率M0 を求めるステップ、(A3)前記最適相似変倍倍率M0 を用いて非球面を評価するステップ。

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