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J-GLOBAL ID：200903083208793266
SR-X線ミラーの位置決め装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991278373
Publication number (International publication number)：1993090134
Application date： Sep. 30, 1991
Publication date： Apr. 09, 1993
Summary：
【要約】【目的】 SR-X線を拡大するミラーの位置決めを高精度で行うことによってウエハの露光量を均一にする。【構成】 ミラー101は、ミラー支持棒104によって保持され、ミラー支持棒104は真空チャンバー105の外に設けられたミラー支持装置Aによって支持される。ミラー支持装置Aおよび真空チャンバー105は互に独立した状態で大枠フレーム401によって支持されている。ミラー支持装置Aはz軸のまわりに回動可能な基準フレーム301、z軸およびx軸のまわりに回動調節可能なチルト板201およびy軸方向に往復移動可能なミラー支持体106からなり、他方大枠フレーム401を支持する架台構造体Bは、任意の方向に傾斜可能な架台下601、y軸のまわりに回動可能な架台上501からなる。
Claim (excerpt)：
任意の方向に傾斜角度を調節自在である架台下と、前記架台下に回動自在に支持された架台上とからなる架台構造体と、前記架台構造体に、X線の光路を横切る方向に往復移動自在に支持された大枠フレームと、前記大枠フレームに支持された真空チャンバーと、前記真空チャンバー内に配置された、X線を所望の方向へ拡大するための反射面を有するミラーを保持するミラー保持手段と、前記真空チャンバーの外に配置されたミラー支持装置とからなり、前記ミラー支持装置が、前記真空チャンバーとは別の手段によって前記大枠フレームに支持された、X線の光路に沿った中心軸のまわりに回動可能である基準フレームと、前記基準フレームに傾斜方向および角度を調節自在に支持されたチルト板と、前記チルト板によって支持された、前記反射面に垂直な軸の軸方向に往復移動自在であるミラー支持体とからなり、前記ミラー保持手段が前記ミラー支持体に連結されていることを特徴とするSR-X線ミラーの位置決め装置。
IPC (2)：
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