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J-GLOBAL ID：200903083218728560

レーザ加工装置

Inventor： 田中 徹
Applicant, Patent owner： ホーヤ・ショット株式会社
Agent (1)： 阿仁屋 節雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998064944
Publication number (International publication number)：1999254172
Application date： Mar. 16, 1998
Publication date： Sep. 21, 1999
Summary：

【要約】【課題】 可視レーザ光による良好な加工位置の目視確認が行え、且つ遠赤外線レーザ光による高精度なレーザ加工を可能とする。【解決手段】 加工位置の目視確認を行う場合には、レンズ交換手段8により、光学用多成分ガラスf-θレンズ7を選択してX-Yガルバノメータ5から被加工物9へと向かうレーザ光の光軸上に移動すると共に、平面鏡3を光路に配置し、可視レーザ光発振器4からの可視レーザ光L2をX-Yガルバノメータ5で反射し、光学用多成分ガラスf-θレンズ7で集光して被加工物9上に照射する。加工作業を行う場合には、レンズ交換手段8により、ゲルマニウム製f-θレンズ6を選択して光軸上に移動すると共に、平面鏡3を光路から外し、CO2レーザ発振器1からのCO2レーザ光L1をX-Yガルバノメータ5で反射し、ゲルマニウム製f-θレンズ6で集光して被加工物9に照射する。

Claim (excerpt)：

遠赤外線レーザ光を発振する遠赤外線レーザ光発振器と、前記遠赤外線レーザ光を二次元的に走査するガルバノメータと、可視レーザ光を発振する可視レーザ光発振器と、レーザ光選択手段とを具備し、被加工物を加工するレーザ加工装置であって、前記レーザ光選択手段は、遠赤外線レーザ光透過f-θレンズと、可視レーザ光透過f-θレンズとを有するとともに、前記各レンズを択一的に選択する機能を有し、前記ガルバノメータは、前記可視レーザ光を前記遠赤外線レーザ光と同一の光軸にて、前記被加工物へと二次元的に走査を行うことを特徴とするレーザ加工装置。

IPC (6)：

B23K 26/06 ,  B23K 26/00 ,  B23K 26/02 ,  B23K 26/08 ,  G02B 26/02 ,  G02B 26/10 104

FI (6)：

B23K 26/06 Z ,  B23K 26/00 B ,  B23K 26/02 C ,  B23K 26/08 B ,  G02B 26/02 C ,  G02B 26/10 104 Z