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J-GLOBAL ID：200903083228534836
液晶表示素子の配向評価装置および液晶表示素子の製造方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992251021
Publication number (International publication number)：1994102512
Application date： Sep. 21, 1992
Publication date： Apr. 15, 1994
Summary：
【要約】【目的】 液晶表示素子の組立前に配向膜の配向特性を測定し、常に安定したラビング処理を行い製造工程歩留まりを向上する。【構成】 透明電極基板1上に形成された配向膜の配向処理を行なう配向処理手段5と、配向膜の複屈折位相差を計測する複屈折位相差計測手段3、4と、複屈折位相差の計測結果に基づき配向処理手段5を制御する配向処理制御手段7とを備えた。
Claim (excerpt)：
液晶表示素子用の透明電極上に形成された配向膜に対して、少なくとも配向処理後の配向膜の複屈折位相差を異なるスポット径の測定光を照射して配向膜の表面状態と配向膜の複屈折位相差を計測する複屈折位相差計測手段を備え、前記複屈折位相差計測手段が、光周波数f1でx軸方向に光電場が向きz軸方向に伝播する第1の直線偏光レ-ザ光と光周波数f2でy軸方向に光電場が向きz軸方向に伝播する第2の直線偏光レ-ザ光とを発生する光源と、差周波数f=f1-f2の差周波交流信号を発生する差周波発生手段と、被測定物を透過したレ-ザ光を偏光方向によらずほぼ一定の比率で分離する光分離手段と、これにより分離された一方の光をxy軸から45度方向の光のみ透過する検光子を通して光検出器で受光し検出した信号aおよび前記光分離手段により分離された他方の光をx軸またはy軸方向のみを透過する検光子を通して光検出器で受光し検出した信号bと前記差周波交流信号との積qおよびsとを得る乗算器と、この乗算器出力から前記被測定物の複屈折量dと遅相軸(または進相軸)方向を演算する演算手段を備えたものであり、配向膜のラビング処理前後の複屈折位相差の差(ラビング処理により配向膜のみに生じた複屈折位相差)を【数1】で算出することを特徴とする液晶表示素子の配向評価装置。
IPC (4)：
G02F 1/1337
, G01M 11/00
, G01N 21/21
, G01N 21/88
