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J-GLOBAL ID：200903083252038769

半導体圧力差圧検出器

Inventor： 霜鳥 裕 ,  坂井 一則
Applicant, Patent owner： 日本精機株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996190132
Publication number (International publication number)：1998038726
Application date： Jul. 19, 1996
Publication date： Feb. 13, 1998
Summary：

【要約】【課題】 低圧域でも圧力と出力の直線性が優れており、かつ生産性の良い半導体圧力差圧検出器を提供するものである。【解決手段】 半導体基板1に、肉薄のダイヤフラム部2と、その外側周囲に肉厚の支持部3とを備え、ダイヤフラム部2にピエゾ抵抗素子からなる歪ゲージ4を形成したものである。そして、ダイヤフラム部2の歪ゲージ4が形成された領域と支持部3とを覆う補強層6を形成したものである。

Claim (excerpt)：

肉薄のダイヤフラム部と、その外側周囲に肉厚の支持部とを備えた半導体基板の前記ダイヤフラム部に歪ゲージを設けた半導体圧力差圧検出器において、前記歪ゲージが形成された領域と前記支持部とを覆う補強層を形成したことを特徴とする半導体圧力差圧検出器。

IPC (3)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 13/06 ,  H01L 29/84

FI (3)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 13/06 R ,  H01L 29/84 B