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J-GLOBAL ID:200903083261661797

高純度窒素ガス製造装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 西藤 征彦
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995064491
Publication number (International publication number):1996261644
Application date: Mar. 23, 1995
Publication date: Oct. 11, 1996
Summary:
【要約】【目的】設置スペースを大幅に狭くすることができ、かつ熱交換器を小形化することのできる高純度窒素ガス製造装置を提供する。【構成】空気圧縮機11と吸着塔17と第1,第2の熱交換器21,23と精留塔25と分縮器32と、分縮器32内の液体空気を圧縮空気冷却用の寒冷源として第2の熱交換器23に案内する案内パイプと、液体窒素貯槽28と導入パイプを備え、下部室2と縦長に形成された上部真空室3からなるガス製造塔1を設け、液体窒素貯槽28と精留塔25と両熱交換器21,23を縦長に形成し、下部室2に空気圧縮機11と吸着塔17を収容し、上部真空室3に液体窒素貯槽28と精留塔25と両熱交換器21,23と導入パイプを収容している。
Claim (excerpt):
外部より取り入れた空気を圧縮する空気圧縮手段と、この空気圧縮手段によって圧縮された圧縮空気中の炭酸ガスと水とを除去する除去手段と、この除去手段を経た圧縮空気を超低温により冷却する第1および第2の熱交換器と、上記除去手段を経た圧縮空気を第1の熱交換器に導入する導入路と、この導入路から分岐しこの導入路内の圧縮空気の一部を第2の熱交換器に導入する分岐路と、上記両熱交換を経由し超低温に冷却され合流された圧縮空気の一部を液化して内部に溜め窒素のみを気体として保持する精留塔と、この精留塔の上部側に滞留させた窒素ガスの一部を製品窒素ガスとして取出す窒素ガス取出路と、上記精留塔の上部に設けられた凝縮器内蔵型の分縮器と、上記精留塔と上記凝縮器とを連通する還流路と、上記精留塔の底部の貯溜液体空気を凝縮器冷却用の寒冷源として上記分縮器に送給する供給路と、上記分縮器内の液体空気を圧縮空気冷却用の寒冷源として上記第2の熱交換器に案内する案内路と、液体窒素を貯蔵する液体窒素貯蔵手段と、この液体窒素貯蔵手段内の液体窒素を圧縮空気液化用の寒冷源として上記精留塔に導く液体窒素導入路を備え、縦長に形成された上部真空室とその下側に設けられた下部室とからなるガス製造塔を設け、上記液体窒素貯蔵手段と精留塔と両熱交換器をそれぞれ縦長に形成し、上記下部室に上記空気圧縮手段と除去手段を収容し、上記上部真空室に上記液体窒素貯蔵手段と精留塔と両熱交換器を収容したことを特徴とする高純度窒素ガス製造装置。
IPC (2):
F25J 3/04 103 ,  F25J 3/04
FI (2):
F25J 3/04 103 ,  F25J 3/04 D

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