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J-GLOBAL ID：200903083286152455

基板表面乾燥装置

Inventor： 志摩 康正 ,  鈴木 聡
Applicant, Patent owner： 大日本スクリーン製造株式会社
Agent (1)： 杉谷 勉
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994131133
Publication number (International publication number)：1995308642
Application date： May. 20, 1994
Publication date： Nov. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】 湿式表面処理された基板表面に付着した液滴を完全に取り除くことができる基板表面乾燥装置を提供する。【構成】 基板Wを保持する基板保持部材の支持部2bは、フッ化樹脂等の連結部2eと、吸水性のよい素材で形成された溝部材2cとが交互に積層され一体に構成されている。基板Wと溝部材2cとの間隙に流れ込んだ処理液は、溝部材2cの内部に吸い込まれて流下し、外部に排出される。

Claim (excerpt)：

湿式表面処理が施された基板を、基板保持部材に保持した状態で乾燥させる基板表面乾燥装置において、前記基板保持部材は、すくなくとも基板と接する基板支持部を、吸水性素材で構成したことを特徴とする基板表面乾燥装置。

IPC (6)：

B08B 3/02 ,  F26B 5/16 ,  H01L 21/304 361 ,  H01L 21/68 ,  H05K 3/06 ,  H05K 3/22