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J-GLOBAL ID：200903083325300556
バンプの形成法
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
朝日奈 宗太 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992349053
Publication number (International publication number)：1994204227
Application date： Dec. 28, 1992
Publication date： Jul. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】 焼成時のダレの発生を防止し、微細なバンプを形成できるバンプの形成法を提供する。【構成】 基板1表面に、バンプ7aを形成すべき場所に孔6が設けられたメタルマスク5を設け、スクリーン印刷により金属ペーストを孔6内部に塗布してバンプ成形体を形成し、ついで前記基板1表面にメタルマスク5を付けた状態で、バンプ成形体の焼成を行うことを特徴とする。
Claim (excerpt)：
基板に設けられた電極パッドに対応する孔を有するメタルマスクを前記基板上に位置合わせして配設し、該メタルマスク上からスクリーン印刷により金属ペーストを印刷し、ついで前記基板表面にメタルマスクを付けた状態で、金属ペースト成形体の焼成を行うことを特徴とするバンプの形成法。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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