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J-GLOBAL ID:200903083367212258

スクロール羽根の形状測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 石原 勝
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992306802
Publication number (International publication number):1994160075
Application date: Nov. 17, 1992
Publication date: Jun. 07, 1994
Summary:
【要約】【目的】 スクロール羽根表面に傷を付けることなく高速・高精度の測定を可能にする。【構成】 スクロール羽根1が取付けられるエアスピンドル2と、その回転角度を検知するロータリエンコーダ3と、エアスピンドル2の回転角度にほぼ比例した距離を直線移動するように駆動される移動台5と、移動台5の移動量を検知するリニアスケール8と、移動台5に取付けられた板ばね9の先端部に取付けられてスクロール羽根1に接触するスタイラス10と、板ばね9のたわみ量を検知するたわみ量検知手段11とを備え、形状測定時に板ばね9が形状誤差分だけたわむようにして可動部質量を極めて小さくし、測定圧を小さくして傷を付けることなく高精度の測定を高速にて行う。
Claim (excerpt):
スクロール羽根が取付けられる回転台と、回転台の回転角度を検知する角度検知手段と、回転台の回転角度にほぼ比例した距離を直線移動するように駆動される移動台と、移動台の移動量を検知する移動量検知手段と、移動台に取付けられた板ばねの先端部に取付けられてスクロール羽根に接触するスタイラスと、板ばねのたわみ量を検知するたわみ量検知手段とを備えたことを特徴とするスクロール羽根の測定装置。
IPC (2):
G01B 21/20 101 ,  G01B 11/24
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • 特開平2-221806
  • 特開平3-259728
  • 特開昭63-091502

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