Pat
J-GLOBAL ID：200903083391842807
EBテスタ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
草野 卓 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998190411
Publication number (International publication number)：2000021937
Application date： Jul. 06, 1998
Publication date： Jan. 21, 2000
Summary：
【要約】【課題】 チャンバ内で被検査ウエハを昇降させ、上昇時にブローブをウエハに接触させて試験を行うEBテスタにおいて、ウエハを上昇させる量を予め測定し、ブローブをウエハに接続する作業を自動化する。【解決手段】 プローバと被検査ウエハの上部に焦点距離を調整して、距離を測定する測距装置を設け、この測距装置によってプローブの先端とウエハの上面との間の距離を測定し、この測定された距離からプローブとウエハとの間の距離を算出し、この距離値をステージの昇降量として利用する。
Claim (excerpt)：
被検査ウエハに形成された集積回路にプローブを通じてIC試験装置を電気的に接続し、IC試験装置から上記集積回路に動作電力及び駆動信号を供給し、上記集積回路を動作させると共に、上記集積回路が形成された部分に電子ビーム照射手段により電子ビームを照射し、その照射点から発生する2次電子の放出量をSEM像取得手段によって検出し、集積回路の各部の電位分布をSEM画像として表示させ、SEM像として表示される電位分布により集積回路内の不良部分を検索するEBテスタにおいて、上記被検査ウエハ及びプローブの上部に焦点距離の調整によって距離を測定する測距装置を設け、この測距装置によって上記プローブの先端と上記被検査ウエハとの間の距離を測定し、この距離値に従って上記被検査ウエハを昇降させる構成としたことを特徴とするEBテスタ。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/66 C
, G01R 31/28 L
2G032AA00
, 2G032AB00
, 2G032AF01
, 2G032AF08
, 2G032AL00
, 4M106AA01
, 4M106BA01
, 4M106BA02
, 4M106DD01
, 4M106DD05
, 4M106DD12
, 4M106DD13
