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J-GLOBAL ID：200903083421629380

感放射線性組成物

Inventor： 藤田 淳
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999048525
Publication number (International publication number)：2000250220
Application date： Feb. 25, 1999
Publication date： Sep. 14, 2000
Summary：

【要約】【課題】 感度、解像力が良好で、焦点深度が大きく、パターン形状良好な感放射線性組成物を提供する。【解決手段】 フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂の、同一分子鎖中のフェノール性水酸基の少なくとも一部が相異なる2種以上の保護基で保護された樹脂(a)及び光酸発生剤(b)を含有する感放射線性組成物に於いて、樹脂(a)が保護基として下記一般式(1)の基及び下記一般式(2)の基を含み、かつ、一般式(1)の基による保護率(Paモル%)が一般式(2)の基による保護率(Pbモル%)より大であることを特徴とする感放射線性組成物。【化1】(式中、R1 およびR2 はそれぞれ水素原子又は置換されていてもよいC1 〜C6 のアルキル基を示し、R1 とR2 は結合して環を形成しても良い。R3 はC1〜C12の置換されていてもよいアルキル基であり、R2 とR3 は結合して環を形成しても良い。R4 はC1 〜C3 のアルキル基またはアルコキシ基を表す。)

Claim (excerpt)：

フェノール性水酸基を有するアルカリ可溶性樹脂の、同一分子鎖中のフェノール性水酸基の少なくとも一部が相異なる2種以上の保護基で保護された樹脂(a)及び光酸発生剤(b)を含有する感放射線性組成物に於いて、樹脂(a)が保護基として下記一般式(1)の基及び下記一般式(2)の基を含み、かつ、一般式(1)の基による保護率(Paモル%)が一般式(2)の基による保護率(Pbモル%)より大であることを特徴とする感放射線性組成物。【化1】(式中、R1 およびR2 はそれぞれ水素原子又は置換されていてもよいC1 〜C6 のアルキル基を示し、R1 とR2 は結合して環を形成しても良い。R3 はC1〜C12の置換されていてもよいアルキル基であり、R2 とR3 は結合して環を形成しても良い。R4 はC1 〜C3 のアルキル基またはアルコキシ基を表す。)

IPC (6)：

G03F 7/039 601 ,  C08K 5/41 ,  C08L101/06 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 503 ,  H01L 21/027

FI (6)：

G03F 7/039 601 ,  C08K 5/41 ,  C08L101/06 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 503 A ,  H01L 21/30 502 R

F-Term (27)：

2H025AA00 ,  2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA03 ,  2H025AB03 ,  2H025AB08 ,  2H025AB13 ,  2H025AB16 ,  2H025AB17 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025BJ05 ,  2H025CB52 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  2H048BA48 ,  4J002AA051 ,  4J002BC121 ,  4J002CC031 ,  4J002EV216 ,  4J002FD206 ,  4J002GP03