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J-GLOBAL ID：200903083428447369

走査型近接場光学顕微鏡

Inventor： 小灘 毅
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998122198
Publication number (International publication number)：1999316240
Application date： May. 01, 1998
Publication date： Nov. 16, 1999
Summary：

【要約】【課題】探針を励振させる周波数とは異なる特定の周波数成分を検出することによって、ノイズを低減させたS/N比の高い測定データを得ることが可能な走査型近接場光学顕微鏡を提供する。【解決手段】試料1の観察対象部位の近傍に配置された探針2と、この探針と試料を相対的に移動させて試料の観察対象部位を走査するスキャナ5と、探針と試料との間の相互作用に関わる光を検出する検出手段と、探針を所定の周波数で振動させて検出手段の出力信号を変調させる変調手段と、この変調手段によって変調された検出手段の出力信号のうち、変調手段の振動周波数以外の所定の周波数成分を抽出して信号処理を行う信号処理手段とを具備し、信号処理手段は、検出手段の出力信号のうち、探針の振動周波数(固有振動数)以外の周波数成分を抽出して取り込む複数のロックインアンプ16a,16b,16cを備える。

Claim (excerpt)：

試料の観察対象部位の近傍に配置したプローブと、このプローブと前記試料を相対的に移動させて、観察対象部位を走査させる手段と、前記試料と前記プローブとの相互作用に関わる光を検出する検出手段と、前記プローブを所定の周波数で振動させる手段と、前記検出手段の出力信号のうち、前記プローブの振動する所定の周波数以外の周波数成分を抽出して信号処理する信号処理手段とを備えていることを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡。

IPC (3)：

G01N 37/00 ,  G01B 11/30 ,  G01B 21/30

FI (3)：

G01N 37/00 D ,  G01B 11/30 Z ,  G01B 21/30 Z