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J-GLOBAL ID：200903083441278711

レーザー光源および照明光学装置

Inventor： 大和 壮一
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996056593
Publication number (International publication number)：1997246648
Application date： Mar. 13, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】 本発明の目的は、露光装置の光源として充分な出力と低コヒーレンスとを備えた光を、長時間安定して被照明面に対し均一に照明することができ、かつ、小型でメインテナンスが容易なレーザー光源を提供することにある。【解決手段】 課題を解決するために本発明では、所定の波長域の光である基本波を発生するレーザー光発生部と、基本波から所望の波長の光を出力する非線形光学結晶とを備えたレーザー要素を複数並列に束ねて構成し、かつ各レーザー要素の光の射出端にレーザー要素からの光を発散させる光学素子を備えたこととした。

Claim (excerpt)：

所定の波長域の光である基本波を発生するレーザー光発生部と、前記基本波から所望の波長の光を出力する非線形光学結晶とを備えたレーザー要素を複数並列に束ねて構成し、かつ前記レーザー要素の光の射出端に前記レーザー要素からの光を発散させる光学素子を備えたことを特徴とするレーザー光源。

IPC (3)：

H01S 3/16 ,  G02F 1/35 ,  H01L 21/027

FI (3)：

H01S 3/16 ,  G02F 1/35 ,  H01L 21/30 527