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J-GLOBAL ID：200903083467009387

走査電子顕微鏡

Inventor： 津野勝重
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 蛭川 昌信 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996079008
Publication number (International publication number)：1997270241
Application date： Apr. 01, 1996
Publication date： Oct. 14, 1997
Summary：

【要約】【課題】 曲がった光軸の光学系を利用し、かつ2次収差の発生を抑えてSEM像を得るとともに、真空度の異なる室を真空度を分離して連結する。【解決手段】 走査電子顕微鏡の電子銃と対物レンズの間に中心面に対して対称な多重プリズム連鎖を設置し、多重プリズム連鎖により、電子ビームの軌道を曲げて試料へ照射するとともに、試料から放出される2次電子を前記電子ビームの軌道から分離して取り出して検出し、また、連続曲面を有するパイプによって電子銃室と試料室を分離し、中間に真空ポンプによる真空引き口を備えて真空引きするようにしたことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

走査電子顕微鏡の電子銃と対物レンズの間に中心面に対して対称な多重プリズム連鎖を設置し、該多重プリズム連鎖により、電子ビームの軌道を曲げて試料へ照射するとともに、試料から放出される2次電子を前記電子ビームの軌道から分離して取り出し、検出するようにしたことを特徴とする走査電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/147 ,  H01J 37/256

FI (2)：

H01J 37/147 B ,  H01J 37/256