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J-GLOBAL ID：200903083490938271
真空ポンプ装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
小山 輝晃
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993192822
Publication number (International publication number)：1995027089
Application date： Jul. 07, 1993
Publication date： Jan. 27, 1995
Summary：
【要約】【目的】 ターボ分子ポンプの吸気口圧力を低下させ、該ターボ分子ポンプの水素ガス等の排気性能を大巾に改善する。【構成】 補助ポンプ2の吸気側に分子量の大きい窒素ガスを導入する。
Claim (excerpt)：
ターボ分子ポンプに補助ポンプを連結した真空装置において、該補助ポンプの吸気側に、分子量の大きい特定ガスを導入する導入管を接続したことを特徴とする真空ポンプ装置。
Patent cited by the Patent：
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