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J-GLOBAL ID：200903083494952554

合成石英ガラス部材の製造方法

Inventor： 大塚 久利 ,  代田 和雄 ,  滝田 政俊
Applicant, Patent owner： 信越化学工業株式会社
Agent (1)： 山本 亮一 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994091555
Publication number (International publication number)：1995291635
Application date： Apr. 28, 1994
Publication date： Nov. 07, 1995
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】 本発明はOH基を 50ppm以上、フッ素を1,000ppm以上含有することからArFエキシマレーザーを光源とする紫外線領域の光学素材用途に使用することができ、放射線などのファイバーに有用とされる合成石英ガラス部材の製造方法の提供を目的とするものである。【構成】 本発明による合成石英ガラス部材の製造方法は、塩素を含有しないシラン化合物の少なくとも1種と塩素を含有しないフッ素化合物の少なくとも1種の混合物を、酸水素火炎中に導入して多孔質シリカ焼結体を形成し、これを真空中または不活性ガス雰囲気中で加熱溶融してガラス化するフッ素含有合成石英ガラス部材の製造方法において、供給するシラン化合物とフッ素化合物との混合比をフッ素原子/(けい素原子+フッ素原子)比で10〜40モル%の範囲とし、シリカ焼結体形成時に生成するシリカ粒子の単位重量部当りの受熱量が単位時間当り20kcal/g・時以上となるようにすることを特徴とするものである。

Claim (excerpt)：

塩素を含有しないシラン化合物の少なくとも1種と塩素を含有しないフッ素化合物の少なくとも1種の混合物を、酸水素火炎中に導入して多孔質シリカ焼結体を形成し、これを真空中または不活性ガス雰囲気中で加熱溶融してガラス化するフッ素含有合成石英ガラス部材の製造方法において、供給するシラン化合物とフッ素化合物との混合比をフッ素原子/(けい素原子+フッ素原子)比で10〜40モル%の範囲とし、シリカ焼結体形成時に生成するシリカ粒子の単位重量部当りの受熱量が単位時間当り20kcal/g・時以上となるようにすることを特徴とする合成石英ガラス部材の製造方法。

IPC (3)：

C03B 8/04 ,  C03B 20/00 ,  G02B 6/00 356

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (4)

• 耐紫外線性石英ガラスフアイバ
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平3-100477   Applicant：信越化学工業株式会社, 三菱電線工業株式会社
• 特開昭59-162143
  
• 特開昭62-252335
  
• 特開昭59-184740