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J-GLOBAL ID：200903083496708146

光学的ローパスフィルタ付き固体撮像素子

Inventor： 岡山 裕昭 ,  山田 克 ,  小野 周佑
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 池内 寛幸 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995020360
Publication number (International publication number)：1996211336
Application date： Feb. 08, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：

【要約】【目的】 位相格子光学的ローパスフィルタを、CCDのマイクロレンズプロセスと同じ方法で作成可能な構成にすることによって、位置合わせ精度を高め、コストの低減を実現する。【構成】 CCDの素子部1の上部に位置したレンズ層4の上部に、レンズ層4よりも屈折率の小さい樹脂の透明樹脂層5を設け、この上に格子形状層6を設け、かつレンズ層4と受光部3との間隔(従来通りのレンズ層4の上が空気の場合)を空気に換算した場合の必要距離をLo、レンズ層4を透明樹脂層5で覆った場合のレンズ層4から受光部3までの空気に換算した必要距離をLu、透明樹脂層5の屈折率をndu、レンズ層4の屈折率をndoとすると、1-(ndo-ndu)/(ndo-1)<Lo・(ndo-1)/{Lu・(ndo-ndu)}<1+(ndo-ndu)/(ndo-1) なる関係を満たす。

Claim (excerpt)：

入射光を受けて光電変換する素子部と、該素子部の上部にマイクロレンズを有するレンズ層とを備えた固体撮像素子であって、上記レンズ層の表面から該レンズ層の材料の屈折率よりも低い屈折率を有する透明樹脂で埋めた透明樹脂層を設け、該透明樹脂層の上に凹凸形状を有する格子形状層を設けたことを特徴とする光学的ローパスフィルタ付き固体撮像素子。

IPC (4)：

G02B 27/46 ,  G02B 27/00 ,  H01L 27/14 ,  H04N 5/335

FI (2)：

G02B 27/00 J ,  H01L 27/14 D