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J-GLOBAL ID：200903083518205488

光ディスク原盤露光装置

Inventor： 水田 治 ,  藤田 滋 ,  工藤 譲
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002117593
Publication number (International publication number)：2003168249
Application date： Apr. 19, 2002
Publication date： Jun. 13, 2003
Summary：

【要約】【課題】 本発明の課題は、電子線を用いて安定して高密度な光ディスク原盤露光を効率よく実施できる光ディスク原盤露光装置を提供することにある。【解決手段】 本発明は、露光源に電子ビームを使用し、真空チャンバ11内にレジスト板13を回転・移動させるための駆動ユニットが設置されて成る光ディスク原盤露光装置において、互いに接触する回転シャフト21と与圧ローラ24とから成る摩擦駆動手段によって、前記駆動ユニットが移動されることを特徴とする。

Claim (excerpt)：

露光源に電子ビームを使用し、真空チャンバ内にレジスト板を回転・移動させるための駆動ユニットが設置されて成る光ディスク原盤露光装置において、互いに接触する回転シャフトと与圧ローラとから成る摩擦駆動手段によって、前記駆動ユニットが移動されることを特徴とする光ディスク原盤露光装置。

IPC (4)：

G11B 7/26 501 ,  F16C 13/00 ,  F16F 15/32 ,  F16H 13/04

FI (4)：

G11B 7/26 501 ,  F16C 13/00 Z ,  F16H 13/04 C ,  F16F 15/32 K

F-Term (26)：

3J051AA03 ,  3J051BA03 ,  3J051BB02 ,  3J051BD01 ,  3J051BE03 ,  3J051CA03 ,  3J051CB06 ,  3J051EB03 ,  3J051EC03 ,  3J051FA08 ,  3J103AA04 ,  3J103AA06 ,  3J103AA83 ,  3J103AA85 ,  3J103CA22 ,  3J103CA35 ,  3J103CA63 ,  3J103CA78 ,  3J103EA03 ,  3J103FA18 ,  3J103GA52 ,  5D121BB21 ,  5D121BB38 ,  5D121JJ02 ,  5D121JJ03 ,  5D121JJ09