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J-GLOBAL ID：200903083535342154

光学素子形状測定方法及び装置

Inventor： 和田順雄 ,  安垣誠人 ,  菊池寿郎 ,  西岡公彦
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 韮澤 弘 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999230398
Publication number (International publication number)：2001056217
Application date： Aug. 17, 1999
Publication date： Feb. 27, 2001
Summary：

【要約】【課題】 被検物である光学素子あるいは型を保持する部材の一部に3次元測定機の座標基準となる部分を設けて、この部分を光学素子の形状と同時に測定し、得られた測定値をその基準に対する座標に変換して光学素子の絶対形状を求める。【解決手段】 被検物たる光学素子2の3次元座標を測定する3次元座標測定手段1と、該3次元座標測定手段により得られた測定データを形状を表す関数にあてはめる手段4とを有する形状測定方法及び装置。

Claim (excerpt)：

被検物の3次元座標を測定する3次元座標測定手段と、該3次元座標測定手段により得られた測定データから形状を求める手段とを有することを特徴とする形状測定方法及び装置。

IPC (2)：

G01B 21/20 ,  G01B 11/24

FI (2)：

G01B 21/20 C ,  G01B 11/24 A

F-Term (39)：

2F065AA04 ,  2F065AA48 ,  2F065AA53 ,  2F065CC21 ,  2F065CC22 ,  2F065FF43 ,  2F065GG06 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL13 ,  2F065LL46 ,  2F065MM04 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ00 ,  2F065QQ17 ,  2F065SS13 ,  2F069AA21 ,  2F069AA66 ,  2F069BB40 ,  2F069DD30 ,  2F069EE04 ,  2F069GG01 ,  2F069GG07 ,  2F069GG39 ,  2F069GG52 ,  2F069GG59 ,  2F069GG62 ,  2F069HH01 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ17 ,  2F069MM02 ,  2F069NN16 ,  2F069NN18 ,  2F069NN21