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J-GLOBAL ID：200903083537535642

近接場顕微鏡

Inventor： 田村 雄一
Applicant, Patent owner： 株式会社分子バイオホトニクス研究所
Agent (1)： 長谷川 芳樹 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996016703
Publication number (International publication number)：1997210906
Application date： Feb. 01, 1996
Publication date： Aug. 15, 1997
Summary：

【要約】【課題】 測定分解能、SN比および検出感度に優れた近接場顕微鏡を提供する。【解決手段】 照明用光源10から出力された照明光Aは、ビームエクスパンダ21、反射鏡22を経て、照明用対物レンズ23で集光されてプローブ30の先端部に照射される。プローブ30の先端部と被測定物40表面との間で照明光Aの照射に伴って発生した散乱光Bは、集光用輪帯レンズ50で平行光とされ、結像レンズ52で集光されて光検出器60に到達し検出される。ここで、プローブ30は、照明用対物レンズ23から出力される照明光Aの光路中にあって、その先端部は照明光Aが集光される位置にある。また、照明用対物レンズ23と集光用輪帯レンズ50とは同軸に配置されており、照明用対物レンズ23から出力された照明光Aは被測定物40表面にほぼ垂直に照射される。

Claim (excerpt)：

第1の光束を出力する照明用光源と、前記第1の光束を入力し、所定位置に集光して照射する照明光学系と、前記照明光学系の出力端と前記所定位置との間の前記第1の光束のほぼ光軸上に配され、先鋭化された先端部が前記所定位置に位置するプローブと、前記照明光学系の出力端と同軸状に入力端を有し、前記プローブの先端部に近接して置かれた被測定物の表面と前記プローブの先端部との間で前記第1の光束の照射に基づいて発生した第2の光束を前記入力端に入力し、前記第2の光束に基づく第3の光束を出力する集光光学系と、前記第3の光束の光量を検出する光検出器と、を備えることを特徴とする近接場顕微鏡。