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J-GLOBAL ID:200903083541017257

光学式位置測定装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 鈴木 晴敏
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1992248548
Publication number (International publication number):1994075686
Application date: Aug. 25, 1992
Publication date: Mar. 18, 1994
Summary:
【要約】【目的】 光学式位置測定装置の機械的誤差を排除して測定精度を改善する。【構成】 光学式位置測定装置は、光ビームを発射する光ビーム発射手段1R,1Lと、光ビームを偏向する偏向手段2R,2Lと、偏向された光ビームVR,VLが指定された位置を通過した事を検出する位置指示手段4と、該検出に同期して光ビームVR,VLの偏向量を測定する偏向量検出手段とからなる。この偏向量検出手段は、該偏向手段2R,2Lと該位置指示手段4の間に各々介在し、光学的に直接光ビームVR,VLの方向を検出する光ビーム検出手段3R,3Lから構成されている。
Claim (excerpt):
光ビームを発射する光ビーム発射手段と、光ビームを偏向する偏向手段と、偏向された光ビームが指定された位置を通過した事を検出する位置指示手段と、該検出に同期して該光ビームの偏向量を検出する偏向量検出手段とからなる光学式位置測定装置において、前記偏向量検出手段が、該偏向手段と該位置指示手段の間に介在し光学的に直接光ビーム方向を検出する光ビーム検出手段からなる事を特徴とする光学式位置測定装置。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (3)
  • 特開平3-005805
  • 特開昭61-296202
  • 特開昭63-275906

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