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J-GLOBAL ID：200903083543439906

光ヘッドおよび光ピックアップ装置

Inventor： 福田 浩章 ,  大塚 正也
Applicant, Patent owner： 株式会社リコー
Agent (1)： 樺山 亨 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001066508
Publication number (International publication number)：2002269799
Application date： Mar. 09, 2001
Publication date： Sep. 20, 2002
Summary：

【要約】【課題】 ガラス基板上に形成された、ピラミッド状のシリコン突起を有する近接場光プローブでは、Si基板の異方性エッチングを施すことにより形成しているため、そのプローブテーパ角を変化させることは困難であり、またプローブの外形に結晶方位に対応した面が残ってしまい円錐形状を形成するのが困難であるといった問題点等を解決する。【解決手段】 透明な石英基板2上に、先端の直径が入射光の波長以下の大きさであり、かつ、石英基板2よりも高屈折率の材料からなる窒化シリコン膜6でできた複数個の微小突起5’および微小突起5’の表面を金属薄膜4で覆った近接場光プローブ5を形成したことを特徴とする。

Claim (excerpt)：

透明基板上に、先端の直径が入射光の波長以下の大きさであり、かつ、該透明基板よりも高屈折率の材料からなる複数個の微小突起を形成したことを特徴とする光ヘッド。

IPC (4)：

G11B 7/135 ,  G01N 13/10 ,  G01N 13/14 ,  G11B 7/22

FI (4)：

G11B 7/135 Z ,  G01N 13/10 G ,  G01N 13/14 B ,  G11B 7/22

F-Term (13)：

5D119AA38 ,  5D119CA09 ,  5D119EB20 ,  5D119JA22 ,  5D119JA25 ,  5D119JA32 ,  5D119JA34 ,  5D119JA40 ,  5D119JA42 ,  5D119JA50 ,  5D119KA41 ,  5D119MA06 ,  5D119NA05