光学素子

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：高梨幸雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995274894
Publication number (International publication number)：1997090229
Application date： Sep. 27, 1995
Publication date： Apr. 04, 1997
Summary：

【要約】【課題】曲率を有する反射面を複数個一体に形成した光学素子において、光学素子全体の透過光量の低下を最小限に押さえるとともに、光学素子内にて発生するゴースト光の強度を低下させる光学素子を得ること。【解決手段】物体からの光束を入射させる入射面と、該入射面から入射させた光束を順に反射させる互いに偏心させた少なくとも3つの曲面反射面と、該曲面反射面からの光束を射出させる射出面とを一体形成した光学素子を用いて物体面を所定面上に結像させる際、該入射面と射出面に反射防止膜を施し、該曲面反射面のうち全反射を利用していない曲面反射面に反射膜を施している。

Claim (excerpt)：

物体からの光束を入射させる入射面と、該入射面から入射させた光束を順に反射させる互いに偏心させた少なくとも3つの曲面反射面と、該曲面反射面からの光束を射出させる射出面とを一体形成した光学素子を用いて物体面を所定面上に結像させる際、該入射面と射出面に反射防止膜を施し、該曲面反射面のうち全反射を利用していない曲面反射面に反射膜を施していることを特徴とする光学素子。

IPC (3)：

G02B 17/08 , G02B 1/11 , G02B 5/00

FI (3)：

G02B 17/08 A , G02B 5/00 Z , G02B 1/10 A

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (6)

特開昭62-146444
特開平2-297516
反射光学系
Gazette classification：公開公報 Application number：特願平3-236836 Applicant：株式会社ニコン

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