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J-GLOBAL ID：200903083583570452

ウェハの容量結合放電処理装置および方法

Inventor： アジット ピー.パランジペ
Applicant, Patent owner： テキサス インスツルメンツ インコーポレイテツド
Agent (1)： 浅村 皓 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993214557
Publication number (International publication number)：1994216078
Application date： Aug. 30, 1993
Publication date： Aug. 05, 1994
Summary：

【要約】【目的】ウェハの容量結合放電処理装置および方法を開示する。【構成】ウェハ14の容量結合放電処理装置において、電極10、30、40、60、70の輪郭および幾何学的形態は、処理速度の非一様性に応答して、すなわちウェハ14に関する局部的処理速度を選択的に増大させ、また減少させるように、構成されうる。例えば、ドーム形電極10は、ウェハ14の外縁部付近の処理速度を増大させ、ウェハ14の中央部付近の処理速度を減少させるし、また、表面空胴を有する電極40、60、70は、処理速度の局部的増大を生ぜしめる。

Claim (excerpt)：

ウェハの容量結合放電処理装置であって、該ウェハが結合せしめられた第1電極と、該第1電極から所定の距離に置かれ所定の幾何学的形態を有する第2電極であって、前記ウェハに対する前記容量結合放電処理の速度を選択的に変化せしめる該第2電極と、を含む、ウェハの容量結合放電処理装置。

IPC (5)：

H01L 21/302 ,  C23C 14/34 ,  C23C 14/54 ,  C23F 4/00 ,  H01L 21/205

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特開昭62-299031
  
• 特開昭62-299031