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J-GLOBAL ID：200903083603231749

温度測定装置及びこれを用いた温度測定方法

Inventor： 原 昌輝
Applicant, Patent owner： ソニー株式会社
Agent (1)： 小池 晃 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996303234
Publication number (International publication number)：1998142068
Application date： Nov. 14, 1996
Publication date： May. 29, 1998
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】 遠隔点から測定結果を読み取ることができ、しかも精密な温度計測が可能な温度測定装置及び温度測定方法を提供する。【解決手段】 温度測定部8及び演算機能素子を有し、非接触で供給される外部エネルギーによって駆動される温度測定装置である。この温度測定装置は、前記温度計測部、演算機能素子の他、記憶機能素子を有していてもよい。これら演算機能素子や記憶機能素子は、最表面にある材料層の熱容量に応じた熱伝導、昇温レート、拡散に与える影響等を算出するもので、算出結果は、いわゆるサーマルバジェットの作成やシミュレーション、品質管理データに用いられる。

Claim (excerpt)：

温度計測部及び演算機能素子を有し、非接触で供給される外部エネルギーによって駆動されることを特徴とする温度測定装置。

IPC (3)：

G01K 1/02 ,  G01K 7/00 321 ,  H01L 21/66

FI (3)：

G01K 1/02 E ,  G01K 7/00 321 G ,  H01L 21/66 T