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J-GLOBAL ID：200903083604645687

一体型光学的測定装置及び光学的測定方法

Inventor： ドュエイン・シー・ホームズ
Applicant, Patent owner： ナノメトリックス・インコーポレイテッド
Agent (1)： 大島 陽一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999194088
Publication number (International publication number)：2000039398
Application date： Jul. 08, 1999
Publication date： Feb. 08, 2000
Summary：

【要約】【課題】 異なる測定方式の光学的測定を効率的に行える一体型光学的測定装置を提供する。【解決手段】 同一焦点の紫外線〜近赤外線(UV-NIR)分光光度計102とフーリエ変換赤外線(FTIR)分光計150とを組み合わせた光学的測定装置100を提供する。この装置では、装置の占有面積が小さくなるとともに、測定時に2種の測定装置の間でサンプル120を移動させる必要がなくなり、かつ個々の測定方式についての測定領域を一致させるためにサンプルの位置を調節する必要もなくなり効率的に光学的測定を行えるようになる。

Claim (excerpt)：

サンプルの表面、薄膜、及び体積的(bulk)特性の測定及び特性化のための光学的測定装置であって、前記サンプルの第1領域を測定する分光光度計と、前記サンプルの第2領域を測定する分光計とを有することを特徴とし、前記サンプルの前記第1領域と前記サンプルの前記第2領域とが重複しており、前記分光高度計が前記サンプルの前記第1領域を測定し、前記分光計が、前記サンプルの前記第2領域を測定し、このとき前記サンプルが概ね同一の位置に維持されることを特徴とする光学的測定装置。

IPC (7)：

G01N 21/27 ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/06 ,  G01J 3/02 ,  G01J 3/45 ,  G01N 21/01 ,  G01N 21/35

FI (7)：

G01N 21/27 Z ,  G01B 9/02 ,  G01B 11/06 G ,  G01J 3/02 S ,  G01J 3/45 ,  G01N 21/01 B ,  G01N 21/35 Z