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J-GLOBAL ID：200903083615092183

欠陥検査装置及び欠陥検査方法

Inventor： 藤森 義彦 ,  末吉 正史
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996130248
Publication number (International publication number)：1997311108
Application date： May. 24, 1996
Publication date： Dec. 02, 1997
Summary：

【要約】【課題】簡単な構成で微小な異物を検出することのできる欠陥検査装置及び欠陥検査方法を提供する。【解決手段】透明な基板8を透過照明する透過照明光学系3,4,5,7と、基板8を落射照明する落射照明光学系3,12,13,9と、基板8を透過照明した光を検出する透過照明検出装置9,10,11,23と、基板8を落射照明した光を検出する落射照明検出装置9,10,11,23と、透過照明検出装置9,10,11,23と落射照明検出装置9,10,11,23との検出結果に基づいて、透過照明光学系3,4,5,7と落射照明光学系3,12,13,9との少なくとも一方の光量を調節する調節手段21,22,24とを備えている。

Claim (excerpt)：

透明な基板上に形成されたパターンの欠陥を検査する欠陥検査装置において、前記基板を透過照明する透過照明光学系と、前記基板を落射照明する落射照明光学系と、前記基板を透過照明した光を検出する透過照明検出装置と、前記基板を落射照明した光を検出する落射照明検出装置と、前記透過照明検出装置と前記落射照明検出装置との検出結果に基づいて、前記透過照明光学系と前記落射照明光学系との少なくとも一方の光量を調節する調節手段とを備えたことを特徴とする欠陥検査装置。

IPC (5)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66

FI (5)：

G01N 21/88 E ,  G01B 11/24 F ,  G03F 1/08 S ,  H01L 21/66 J ,  H01L 21/30 502 V