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J-GLOBAL ID：200903083623933936

支持体表面検査装置

Inventor： 渡貫 明男 ,  石本 清士
Applicant, Patent owner： 日立電子株式会社 ,  コニカ株式会社
Agent (1)： 高橋 明夫 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996054383
Publication number (International publication number)：1997243572
Application date： Mar. 12, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：

【要約】【課題】フィルム幅両端へ行く程発生するレーザ光の光量低下による光電子増倍管出力信号のレベル低下を補正することにより、フィルム幅の両端付近の欠陥誤検出を無くした、また、レーザ照射装置から照射されるレーザ光の光量変化による光電子増倍管出力信号のレベル変化を補正することにより、フィルム全幅にわたるフィルムの欠陥誤検出を無くした支持体表面検査装置を提供する。【解決手段】少なくとも、支持体を連続搬送する搬送手段と、レーザ光発生部材とレーザ光照射手段と、受光したレーザ光に応じた電気信号を出力する光電子増倍管と、第1の増幅回路と、判定回路とを有する支持体表面検査装置において、第1の増幅回路の出力信号を、レーザ光照射手段が支持体を幅手方向に1回走査する時間Tよりも長い時間、積分する第1の積分回路と、積分結果とあらかじめ定められた基準値とを比較して差電圧を求める第1の比較回路と、差電圧に応じた電圧を光電子増倍管に印加する高電圧発生回路とを有する。

Claim (excerpt)：

少なくとも、支持体を連続搬送する搬送手段と、レーザ光発生部材と支持体の幅手方向にレーザ光を走査させる走査部材とを備えたレーザ光照射手段と、支持体によって反射されたレーザ光あるいは支持体を透過したレーザ光を受光して光電変換し、受光したレーザ光に応じた電気信号を出力する光電子増倍管と、該光電子増倍管から出力された電気信号を増幅する第1の増幅回路と、増幅された電気信号とあらかじめ定められた所定の判定値領域とを比較し、増幅された電気信号が判定値領域に含まれていない場合に故障信号を出力する判定回路とを有する支持体表面検査装置において、前記第1の増幅回路の出力信号を、前記レーザ光照射手段が前記支持体を幅手方向に1回走査する時間Tよりも長い時間、積分する第1の積分回路と、該第1の積分回路によって得られた積分結果とあらかじめ定められた基準値とを比較して差電圧を求める第1の比較回路と、差電圧に応じた電圧を前記光電子増倍管に印加する高電圧発生回路とを有することを特徴とする支持体表面検査装置。