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J-GLOBAL ID：200903083633320266

ジアルキルアルミニウムアルコキシドを用いた酸化アルミニウム膜の製造方法

Inventor： キム、ユン・ソー ,  コー、ウォン・ヨン ,  ク、ス・ジン
Applicant, Patent owner： コリア・リサーチ・インスティチュート・オブ・ケミカル・テクノロジー
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外5名)
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：1997521175
Publication number (International publication number)：1999500789
Application date： Dec. 03, 1996
Publication date： Jan. 19, 1999
Summary：

【要約】ジアルキルアルミニウムアルコキシド化合物を0ないし25°Cの範囲の温度で気化させ、生成した蒸気を300ないし600°Cの範囲の温度に加熱された基材と接触させることを含む方法によって酸化アルミニウム膜を基材上に経済的で便利に蒸着させる。

Claim (excerpt)：

気化された下記式(I)のジアルキルアルミニウムアルコキシド化合物を基材と接触させることを含む、基材を酸化アルミニウム膜でコーティングする方法: R12AlOR2 (ここで、R1およびR2は各々独立にC1-10アルキル基である。)

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 特公昭54-022933
  
• 特公平5-007358