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J-GLOBAL ID：200903083639545227

走査型トンネル顕微鏡

Inventor： 田中 誠嗣 ,  藤田 佳児 ,  水口 信一 ,  野村 剛
Applicant, Patent owner： 松下電器産業株式会社
Agent (1)： 小鍜治 明 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991221418
Publication number (International publication number)：1993060509
Application date： Sep. 02, 1991
Publication date： Mar. 09, 1993
Summary：

【要約】【目的】 深針固定部回りの剛性を高め、さらに深針交換の時に深針ホルダ出し入れに余分な力がかからないような深針固定法を提供する。【構成】 固定部ブロック11のV字溝に深針ホルダ7を形状記憶合金の板8,8’で押さえ、留めの部分にペルチェ素子9,9’を設けることにより、少なくとも2ヶ所以上から形状記憶合金の板で固定されることになり、従来の方法より深針ホルダ固定部における剛性をあげることができる。また、留めの部分のペルチェ素子9,9’に電流を流すことによりペルチェ素子9,9’が冷却し、形状記憶合金の板8,8’が冷却されることにより、変態点の温度以下になり自由に変化できるようになる。自由にたわむことにより形状記憶合金の板8,8’が深針ホルダ7を押さえる力が減少し、深針ホルダ7をより少ない力で出し入れすることができるようになった。そのことにより従来に比べて、固定ブロック11を支持しているPZT12,14,15の破損がなくなった。

Claim (excerpt)：

防振機能により防振された基台と、この基台上に設置された探針を3次元的に微小移動する機構と、前記基台上に設置され試料を保持する試料台と前記機構を移動し、前記探針と試料表面を所定の距離まで近づけ、前記探針と試料との間に所定の電圧を印加し、両者間に流れるトンネル電流に基づいて試料表面を検査する走査型トンネル顕微鏡において、前記探針と深針を保持する探針ホルダと、互いに直交する3軸方向に可動せしめるPZTで支えられ、かつV溝を有する固定ブロックと、前記探針ホルダを前記固定ブロックのV溝に固定するための形状記憶合金の板金と前記形状記憶合金の板金を冷却する機能を持ち、かつ保持する座がね状のペルチェ素子とを備えていることを特徴とする走査型トンネル顕微鏡。

IPC (2)：

G01B 7/34 ,  H01J 37/28