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J-GLOBAL ID：200903083651490187
多波長選択光学フィルタの製造装置及び多波長選択光学フィルタ
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
渡辺 正康
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996048648
Publication number (International publication number)：1997243822
Application date： Mar. 06, 1996
Publication date： Sep. 19, 1997
Summary：
【要約】【課題】 精度良く多波長選択光学フィルタを形成することが可能な多波長選択光学フィルタの製造装置を実現する。【解決手段】 一枚で多波長の波長選択が可能な光学フィルタの製造装置において、蒸着源と、基板に形成される多層膜の膜厚を測定する膜厚計と、蒸着源と基板との間に設けられた移動シャッターと、この移動シャッターを駆動する駆動手段と、膜厚計の出力に基づき蒸着源及び駆動手段を制御して形成される多層膜の膜厚を制御する制御回路とを設ける。
Claim (excerpt)：
一枚で多波長の波長選択が可能な光学フィルタの製造装置において、蒸着源と、基板に形成される多層膜の膜厚を測定する膜厚計と、前記蒸着源と前記基板との間に設けられた移動シャッターと、この移動シャッターを駆動する駆動手段と、前記膜厚計の出力に基づき前記蒸着源及び前記駆動手段を制御して形成される前記多層膜の膜厚を制御する制御回路とを備えたことを特徴とする多波長選択光学フィルタの製造装置。
IPC (2)：
FI (2)：
Patent cited by the Patent：
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