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J-GLOBAL ID：200903083686017018
誘電体素子
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴木 喜三郎 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992175378
Publication number (International publication number)：1994020866
Application date： Jul. 02, 1992
Publication date： Jan. 28, 1994
Summary：
【要約】【目的】誘電体が2つの電極によって挟まれた構造を有する誘電体素子において、製造過程における熱処理工程あるいは経時変化による前記電極と前記誘電体との界面に発生する応力を緩和し、素子の信頼性を向上させる。【構成】前記誘電体を構成する物質と前記電極を構成する物質との組成比が、0対1から1対0まで連続的に変化することを特徴とする。【効果】誘電体と電極との界面の応力が緩和されるため、、前記応力に起因する膜の密着性、膜疲労特性、分極保持特性の劣化を防ぎ、信頼性を向上させる。
Claim (excerpt)：
誘電体が2つの電極によって挟まれた構造を有する誘電体素子において、前記誘電体と前記2つの電極のうち少なくとも一方との接触する領域における、前記誘電体を構成する物質と前記電極を構成する物質との組成比が、0対1から1対0まで連続的に変化することを特徴とする誘電体素子。
IPC (4)：
H01G 4/10
, H01B 3/12 301
, H01G 4/12 415
, H01L 41/08
