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J-GLOBAL ID：200903083696082420

固体物質の昇華方法及び装置

Inventor： ジャン-ジャック エドガール ガレンヌ ,  オリビエール ジャン クリスティアン ポンセレ
Applicant, Patent owner： イーストマン コダック カンパニー
Agent (1)： 石田 敬 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995308963
Publication number (International publication number)：1996232069
Application date： Nov. 28, 1995
Publication date： Sep. 10, 1996
Summary：

【要約】【課題】 従来法の欠点を有さない固体形態の物質を用いる蒸着法によって、生成される蒸着物のドーピングを可能にする昇華装置及び方法を提供する。【解決手段】 a)固体物質を導入する密閉容器;b)前記固体物質から蒸気相を生成させるために前記密閉容器内の前記固体物質を昇華させる手段;c)前記密閉容器に、前記蒸気相を運ぶためにキャリヤーガスを導入する手段;そしてd)前記蒸気相及び前記キャリヤーガスを排出する手段;を含んでなる固体物質の昇華装置であって、密閉容器内部に、その間に前記固体物質を保持する多孔性材料の二つのプレートを有することを特徴とする装置。

Claim (excerpt)：

a)固体物質を導入する密閉容器;b)前記固体物質から蒸気相を生成させるために前記密閉容器内の前記固体物質を昇華させる手段;c)前記密閉容器に、前記蒸気相を運ぶためにキャリヤーガスを導入する手段;そしてd)前記蒸気相及び前記キャリヤーガスを排出する手段;を含んでなる固体物質の昇華装置であって、密閉容器内部に、その間に前記固体物質を保持する多孔性材料の二つのプレートを有することを特徴とする装置。

IPC (3)：

C23C 16/44 ,  B01D 7/00 ,  B01J 7/00

FI (3)：

C23C 16/44 C ,  B01D 7/00 ,  B01J 7/00 A