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J-GLOBAL ID：200903083697311252

鉄、ルテニウム、オスミウムの化学蒸着

Inventor： フレッド・ビー・マッコーミック ,  ウェイン・エル・グラッドフェルター ,  センザキ・ヨシヒデ
Applicant, Patent owner： リージェンツ・オブ・ザ・ユニバーシティ・オブ・ミネソタ
Agent (1)： 青山 葆 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993184818
Publication number (International publication number)：1994173007
Application date： Jul. 27, 1993
Publication date： Jun. 21, 1994
Summary：

【要約】【目的】 基体表面上に1またはそれ以上のFe、Ru、またはOsからなる金属を含有する被膜を析出するように改良された化学蒸着技術を用いて薄膜を生成する方法を提供する。【構成】 式(a):(CO)4ML、または(b):M2[μ-(η2:η4-C4R4)](CO)6(式中、MはFe、Ru、またはOs、Lは2電子供与体配位子、各RはH、ハロゲン、OH、アルキル、ペルフルオロアルキル、またはアリールである)で示される有機金属化合物を含有する蒸気を分解する化学蒸着技術を用いて、Fe、Ru、またはOsを含有する薄膜を基体表面上に生成する。

Claim (excerpt)：

Fe、RuまたはOsを含有する薄膜を基体表面で析出させるように、式(CO)4ML[式中、(a)MはFe、Ru、またはOs、および(b)Lは1. (R1)3P、(R1O)3P、(R1)3N、(R1)3As、または(R1)3Sb(ここで、各R1はH、ハロゲン、(C1〜C10)アルキル、(C1〜C10)ペルフルオロアルキル、または(C6〜C10)アリールであって、各R1はLが合計0〜30個の炭素原子を含むように選ばれる)、2. (R1O)3P(ここで、各R1は(C1〜C10)アルキル、(C1〜C10)ペルフルオロアルキル、または(C6〜C10)アリールであって、各R1はLが3〜30個の炭素原子を含むように選ばれる)、3. R1OR1、R1SR1、R1CN、またはR1NC(ここで、各R1は(C1〜C10)アルキル、(C1〜C10)ペルフルオロアルキル、または(C6〜C10)アリールであって、各R1はLが2〜30個の炭素原子を含むように選ばれる)、4. (R1)2C=C(R1)2またはR1C≡CR1(ここで、各R1はH、ハロゲン、(C1〜C10)アルキル、(C1〜C10)ペルフルオロアルキル、-CHO、-CN、トリス(C1〜C4)アルキルシリル、または(C6〜C10)アリールであって、各R1はLが2〜30個の炭素原子を含むように選ばれる)、5. チオカルボニル、または6. (R1)2C=(ここで、各R1はH、(C1〜C10)アルキル、(C1〜C10)ペルフルオロアルキル、ハロゲン、アミノ、または(C6〜C10)アリールであって、各R1はLが1〜30個の炭素原子を含むように選ばれる)である]で示される化合物を含有する蒸気を分解する化学蒸着の技術を用いることを含む基体表面上に金属薄膜を適用する方法。

IPC (3)：

C23C 16/06 ,  C07F 15/00 ,  C07F 15/02