Pat

J-GLOBAL ID：200903083719317284

微少質量測定装置、微少質量測定システムおよび電極取り出し方法

Inventor： 田中 一郎
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 長尾 達也
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002114314
Publication number (International publication number)：2003307480
Application date： Apr. 17, 2002
Publication date： Oct. 31, 2003
Summary：

【要約】【課題】高感度のQCMセンサを配線抵抗の影響を受けず信頼性と歩留の向上を可能とする微少質量測定装置、微少質量測定システムおよび電極取り出し方法を提供すること。【解決手段】圧電材料基板の両面に金属電極があり、この電極に電圧を印加し、圧電材料を振動させ、該金属電極の表面に付着した被測定試料の質量を、該圧電材料の振動数の変化またはインピーダンスの変化から読み取る微少質量測定装置であり、該電極部が圧電材料基板の他の部分より薄くなっており、かつ該電極は該圧電材料基板の段差を乗り超えることがなく、該電極との導通に針状または棒状のコンタクトプローブを用い、コンタクトプローブの接触する部分の圧電材料の厚みを確保するか、または裏側は適当な材料により補強する。

Claim (excerpt)：

圧電材料基板の両面に金属電極があり、この電極に電圧を印加し、圧電材料を振動させ、該金属電極の表面に付着した被測定試料の質量を、該圧電材料の振動数の変化またはインピーダンスの変化から読み取る微少質量測定装置であり、該電極部が圧電材料基板の他の部分より薄くなっており、かつ該電極は該圧電材料基板の段差を乗り超えることがなく、該電極との導通に針状または棒状のコンタクトプローブを用い、コンタクトプローブの接触する部分の圧電材料の厚みを確保するか、または裏側は適当な材料により補強されていることを特徴とする微少質量測定装置。